測定範囲 | Ra、Rq:0.005~16.00 μm / 0.020~629.9 μinch | |||||
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測定範囲 | Rz、Rt:0.020~160.0 μm / 0.078~6299 μinch | |||||
精度 | ±10% 以下 | |||||
表示値の変動 | 6% 以下 | |||||
分解能 | 0.001 μm、0.01 μm、0.1 μm | |||||
プローブ | 半径 | 5 μm | ||||
材質 | ダイアモンド | |||||
測定力 | 4mN(0.4gf) | |||||
角度 | 90° | |||||
垂直半径 | 48mm | |||||
最大ストローク | 17.5mm/0.7inch | |||||
カットオフ長さ | 0.25mm、0.8mm、2.5mm | |||||
測定速度 | 測定時 |
サンプル長さ:0.25mm Vt:0.135mm/s サンプル長さ:0.8mm Vt:0.5mm/s サンプル長さ:2.5mm Vt:1mm/s |
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戻り時 | Vt=1mm/s | |||||
プロファイル デジタルフィルター |
フィルタリング | サンプル長さ:0.25mm Vt:0.135mm/s | ||||
ノンフィルタリング | サンプル長さ:0.8mm Vt:0.5mm/s | |||||
評価長さ | 1~5L オプション | |||||
データ保存数 | 7グループ | |||||
電源 | 内蔵型リチウムイオン充電池 | |||||
サイズ | 140×52×48mm | |||||
重量 | 420g |
標準品 | メインユニット | ||
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標準センサー | |||
スタンダードサンプルプレート | |||
スクリュードライバー | |||
キャリーケース | |||
取扱説明書 |